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三維光學形貌儀具有3D測量能力,可在幾秒內就完成整個視場的掃描得到測量樣品的3D圖形與高度數據,檢測速度與深度量測能力優于逐點逐面掃描的共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測能力又優于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或雷射,開機快又安全,維護成本更低。